ガス・酸供給システム・半導体技術コンサルティング及び施工
ガス供給・酸供給システムの設計・企画・施工
給気装置部
- Cabinet/ガスボトルキャビネット
- Valve Manifold Box
- Valve Panel
- Heater Control & tape
酸供給装置部
- Chemical Dispense System
- Valve Manifold Box
- Valve Panel
エンジニアリング部分
- ガス導管計画および現場施工管理
- ガス検知器のレイアウトと設置
- 真空管配管工学
- 廃ガスと酸の排出パイプラインの計画と建設
- 化学パイプライン配管工学
- VMB/VMP組立工程
